一、行業簡介
半導體、集成(chéng)電路芯片及封裝、液晶顯示、高(gāo)精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大(dà)規模、超大規(guī)模集成電路需用大(dà)量的純水(shuǐ)、高純水、超(chāo)純水清洗半成品(pǐn)、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄(zhǎi),對水(shuǐ)質的(de)要求(qiú)也越高。目前我國電子工業部把電(diàn)子級水質技術分為五個行(háng)業等級(jí),分(fèn)別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
二、應用範圍
1、電子、電力、電(diàn)鍍(dù)、照明電器、實(shí)驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池(chí)、化驗、生物、製藥、石(shí)油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2、化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體芯片(piàn)、半導體封裝 、引線櫃架、集成電路、液晶顯示器(qì)、導電(diàn)玻(bō)璃、顯像管、線路板、光通信、電(diàn)腦(nǎo)元件、電容(róng)器潔淨產品及各種元器件等生產工藝(yì)用純水。
三、工藝簡介
1、係統模塊化設計,共分四部分:預處理係統、反滲透(tòu)係統、EDI係統(tǒng)、終端供水係統。
2、預處理係統主要用來去除原水中的懸浮物、濁度、色(sè)度、膠體以(yǐ)及部分(fèn)有機物,保證產水(shuǐ)符合反滲透係統的進水水質要(yào)求。
3、反滲透係統主要用來去除原水中溶解(jiě)性鹽類物質、細(xì)菌、熱源等,保證產(chǎn)水符合EDI係統進水水質要求。
4、EDI係統主要用來對反滲透產水進行進一(yī)步脫除溶(róng)解性的小分子鹽類物質,產水(shuǐ)達到電阻率(lǜ)達到(dào)15MΩ.cm以上。
5、終端供水係(xì)統(tǒng)主(zhǔ)要是用來將合格水輸送(sòng)至用水點,輸送過程(chéng)中對EDI產生進行最後的(de)離子交換脫鹽,使得產水達到電阻率達(dá)到18MΩ.cm以上。
6、整個係統進(jìn)行集中控製。
四、技術特色
1、係(xì)統模塊化(huà)設計,占(zhàn)地麵積小,操作維護方便,安裝方便快(kuài)捷,整體(tǐ)美(měi)觀。
2、整套係統實現全自(zì)動化運行,並且手動與自動自由切換。
3、設備產水水質穩定,運行連續穩定。
4、係統(tǒng)工藝先進,無需化學(xué)藥品再生,無危害性廢液排放。
5、係統節水(shuǐ)率高,係統回收率在75%以上。
6、關(guān)鍵部位采用在線儀表監測,適時(shí)數據上傳。
五、設備參數
1、係統回收率:
超濾≥90%
一級反(fǎn)滲透≥75%
二級反滲(shèn)透≥85%
EDI係統≥90%
2、設備產水符合(hé)《電子超純水(shuǐ)國家標(biāo)準》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導體工業純水指標。
3、單支(zhī)膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。